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辽阳净化工程，一、乱流式：空气由空调箱经风管与干净室内之空气过滤器进入干净室，并由干净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于干净室等级1,000-100,000级。
二、层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。(2)垂直层流式：房间天花板完整以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之干净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。三、复合式：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超干净之空气。(1)干净管道：将产品流程经过的自动消费线包围并净化处置，将干净度等级提至100级以上。(2)并装部分干净室：将干净室等级10,000~100,000之乱流干净室内之产品制程区的干净度等级进步为10~1000级以上，以为消费之用；干净工作台、干净棚、装配式干净室、干净衣柜即属此类。

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