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古人云：温故而知新。继承、创新才能发展。因而回顾扩散泵近一个世纪的发展过程， 对其改进和发展是有重要意义的。尊重历史沿革， 单位制没作统一， 请见谅。

在低于10- 2Torr 的压力区域， 对现代工业和科学研究是非常重要的。高真空在活性金属和难熔金属的熔化和精炼， 塑料的装饰镀膜等许多方面得到广泛的应用。为了获得所需要的高真空而且应用最广的抽气设备是扩散泵。扩散泵借助定向的高速蒸汽流抽气， 可获得10- 2~10- 11Torr 或更低的压力。( 在10- 9Torr 以下通常使用障板和冷阱) 。扩散泵是高真空和超高真空获得设备。扩散泵与低温泵联合工作， 可获得10- 14Torr 的真空度。

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扩散泵的发展趋势全过程与构造改善

盖得于1913年9月25日，在法国申请办理了一项专利权。用蒸气流来造成高真空泵的设备。他强调：高真空泵是根据扩散作用而获得的。因此，这类泵就以扩散泵而出名。据原苏联参考文献报导：1912年乌克兰学家巴洛维克在彼得堡物理学研究室明确提出这类泵，并且在1913年乌克兰学家巴甫洛夫，用这类泵开展过汽体分子结构撞击层面的科学研究工作中。针对谁先创造发明的扩散泵这种专利权的难题，人们无须细究，由于早已以往快一个新世纪了，尽管在原理上没有什么转变，但和原先盖得泵对比构造上彻底不一样了。今日的当代扩散泵是历经几辈的持续科学研究，改善和自主创新的成效。但人们不可以忘掉盖得对扩散泵所做的奉献。

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