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随着高科技的展，航天行业，电子产品行业的飞跃，对平面研磨技术和平面抛光技术的要求也相应提高。目前国内已经有少数企业生产的平面研磨机达到了世界水平，跨入了纳米技术时代。自由度纳米级微定位工作台。

一、研磨方法和研磨装置

本发明提供了研磨和研磨装置，可靠地防止了研磨损坏的产生并且避免研磨工件的损坏。按照本发明的较佳实施例，研磨方法包括的步骤是，首先间断地对工件进行研磨操作，在完成间断研磨操作之后对工件连续进行研磨操作。

二、一种脆性材料表面磨削加工方法

本发明公开了一种脆性材料表面磨削加工方法，该方法在脆性材料表面磨削加工中使用带有磨粒的砂带；在以上磨削过程中添加磨削液；在磨削过程中工件相对于磨削砂带呈复合运动。该方法可以提高磨削表面的切除率，同时砂带磨损较低，可获得高的加工效率和加工表面质量。

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