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产品信息： 在实际得科研生产中，由于样品/晶圆（Wafer）得尺寸越来越大，用于测试的探针台相当昂贵，我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧，功能实用，成本较低的简易式探针台，在满足基本测试功能基础上，去除了非必要得部件，该探针台系统包含：光学成像部分，隔振平台，探针座，四维调整载片台（Chuck），真空吸附系统；     创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台，以达到更好得使用效果和性价比。 技术参数： ◆结构紧凑，功能实用，高性价比 ◆可用于12寸以内样品测试     ◆1微米以上电极/PAD使用 ◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜，可360°旋转和微调升降 ◆漏电流精度：10pA/100fa（屏蔽箱内） ◆精密丝杠/燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计 ◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用 ◆模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块 ◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；