价格合理的碳化硅陶瓷密封圈_买别致的碳化硅陶瓷密封圈砾石实业
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:22
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-08-26
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砾石实业作为一家以销售为主营方向的企业,可靠供应性价比好、经济实惠的有品质碳化硅陶瓷密封圈,该款产品以其具有魅力的产品特色,很大的迎合了众多用户的需求,深受工业陶瓷使用人群的青睐和好评,树立了良好的口碑。
东莞市砾石实业投资有限公司始创于2009-08-05,是一家可靠设计、开发、生产碳化硅陶瓷密封圈产品的有限责任公司,本厂可靠销售各种绝缘材料产品,拥有成熟的机械设备,完善的生产装配工艺流程,科学的管理糸统,在国内碳化硅陶瓷密封圈好销售全国各地,受到各地经销商、大中商场、终端客户的好评。
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靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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