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高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体在科学仪器和分析测试中具有重要意义。举例来说，高纯度的气体用于质谱仪、光谱仪和色谱仪等设备中的样品进样和环境控制。高纯气体在船舶和海洋工程领域中也有广泛应用。氮气和氩气常用于船舶防腐和舱内充填，以延长使用寿命和提供舒适的工作环境。