ktrobot01  产品特色

 应用领域


 高速传片效率

 光刻


 MCBF大于1000万次

 ETCH


 SEMI认证S2、F47

 CVD


 网络化控制器

 PVD


 手指及接口可用户定制

 MOCVD


 采用真空负压吸附

 TRACK


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