第yi、通过真空室所需要建立的极限压力确定真空泵系统主泵的种类，通常主泵极限压力的选择要比真空泵室的极限压力低1半到1个数量级，
第二、通过真空室进行工艺成产时所须要的工作压力来选真空泵系统主泵
应该正确地选择主泵的静态工作点，在它的工作压力界限，要能排除真空泵室内工艺过程间所造成的全部气体量。所以，真空泵室内的工作压力 要在主泵的较佳抽速压力范围以内。
第三、根据真空室的容积大小和要求的抽真空时间来选真空泵系统主泵
真空室容积的大小对真空系统所要抽到极限真空度的时间长度有所影响。当抽气的时间段要求必须时，假如真空室容积越大，那么主泵抽速也越大。
第四、正确地组成真空泵系统
由于真空泵有选择性地抽真空，因此有时采用一种泵不能满足抽气要求，需要几类泵组成起来，相互之间补充才能符合抽气要求。
第五、若真空系统严格要求无油时，则应当选各种无油泵作真空泵系统主泵
要是要求不严格，那么可以选择油泵，之后再加一些防油污染的策略，可以加挡油阱、障板、冷阱等，也可以达到清洁真空的标准。
第六、选择真空泵时，应当知道被抽气体成份，针对被抽气体成份选择相对的真空系统主泵
如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应当考虑到选取干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安裝辅助设备。
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