浙江珂勒曦动力设备有限公司
主营产品:螺杆鼓风机,螺杆真空泵
产品展示 Products
江西真空机组螺杆真空泵在半导体行业的应运
  • 联系人:珂勒曦
  • QQ号码:
  • 电话号码:0576-85151258
  • 手机号码:18957612959
  • Email地址:kelexi@kelexi.cn
  • 公司地址:浙江省台州市临海市江南街道江南大道288号
产品介绍
一、有效稀释有害气体的浓度。
半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。因此半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触时,会引起燃烧甚至爆炸;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
二、过滤、定期清洗真空泵及其他附件、管道,避免超压。
半导体真空泵应用时,抽取介质过程中经过反应室与真空泵,其成分可能极为复杂,如SiH4与O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解会形成HCl;如果是油封式机械泵,这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化如果形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质,就可能堵塞真空泵或管路系统,影响真空泵性能,造成压力上升或超压, 点中提到的危险性也更大。因此需要及时的清洗,并在必要的时候设置过滤设备。
三、避免温度过高。
这点很容易理解,半导体真空泵应用中,有害气体较多,而无论是干式真空泵还是油封机械泵,泵腔内温度过高,高温下易燃易爆及有毒气体就更容易发生危险。
四、注意氧气浓度。
空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆炸风险。因此一些情况下需注意氧的浓度,采用惰性气体来稀释,防止浓度过高;如果是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油,并及时更换油品与油滤。
珂勒曦螺杆真空泵,单极突破 极限真空泵,可长时间运行,并且针对国内高温差、高湿度、高粉尘环境做了针对性优化,更适应国内的各类工况环境,实际应用实现更低故障率,更低能耗,更高能效。广泛应用于电子光伏、包装行业、真空模拟、风洞实验和造纸与印刷等各种生产行业。如果您对珂勒曦螺杆鼓风机感兴趣或想了解更多信息,欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线:400-886-7766,期待您的来电。
全国销售热线:400-886-7766
传  真:0576-85151258
网    址:
地  址:浙江省临海市江南街道江南大道288号
邮  箱:kelexi@