罗茨螺杆真空机组，是以罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵的抽气系统，此机组过流部分没有任何液体作工作液，极限压力不受水温影响，对被抽工艺气体不产生二次污染，便于排出气体的回收。
罗茨螺杆真空机组是由罗茨泵与螺杆泵串联组成，同时配有管路、阀门、机架及电器控制箱等，当前级螺杆泵工作后，由真空规头及真空继电器来控制罗茨泵起动。 由于罗茨泵与螺杆泵转动部件都是不接触件，因此机组具备运转平稳、噪音低、振动小，结构紧凑、占地面积小等优点。 用途： 罗茨螺杆真空机组因节能效果明显，高真空区抽气量大，真空度高 , 是电工、电子镀膜、冶炼、热处理、干燥、蒸馏、制药、化工、等行业理想的抽气设备。特别适用于要求无油蒸汽污染的半导体行业，同时也适用于含有大量水蒸汽 及少量粉尘的场合。
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