首先，真空检漏前就要查看图纸，了解总漏量、分布漏量的要求。这一过程要了解：被检的零部件和整个设备的结构与材料；真空系统的加工工艺、加工水平及装配过程；使用要求等等。另外要查明哪些地方需要检测，哪些地方有死空间，有没有易漏的材料，如铸件、焊接管，有没有使用了容易出现漏孔的工艺等。
其次，根据所提出的zui大允许漏率以及是否需要找出漏孔的具体位置要求，从经济快速、可靠的原则出发，选择真空检漏仪器与方法，以及可能所需的辅助设备（如质谱检漏的辅助真空系统、连接管道与法兰），并拟定检漏程序。
第三，对被检件进行清洁处理。去除焊渣、油垢、再进行清洁处理。清洗后要将被检件烘干，对于要求较高的小型器件，在清洗后应放入真空烘箱内进行烘烤。清洁处理的目的是为了使漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，并使检漏仪器不被沾污。
第四，对所使用的检漏方法和检漏设进行灵敏度校准，并确定检漏系统的反应时间。
第五，使用真空检漏法时，为提供仪器的灵敏度，应尽可能将被检器件抽到较高的真空度（必要时进行烘烤除气）。
第六，当使用氦质谱检漏仪检漏时，对于那些检漏灵敏度要求不高或者有大漏的被检件，检漏初期应尽量使用低浓度的氦气进行检漏，以节省氦气。
第七，对已建出的大漏孔进行修补后，再进行小漏孔的检查。
第八，检出的漏孔复检。
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