深圳市中图仪器股份有限公司
主营产品:三坐标测量机,,闪测仪,一键式测量仪,影像测量仪,激光跟踪仪,机床测头,光学3D表面轮廓仪
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深圳3d光学轮廓仪检测仪器
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产品介绍
中图仪器的SuperViewW系列深圳3d光学轮廓仪检测仪器能够以优于纳米级的分辨率,以非接触式测量样品表面形貌,主要用于表面形貌纹理,微观结构分析,广泛应用于材料,光学,半导体,精密机械等等领域。



产品特点
1.双通道气浮隔振系统大幅减小了环境振动的影响,还可以降低高精度量测时的噪声,提高超光滑表面的测试精度。
2.一体化操作的测量分析软件自动对焦样品表面,自动智能配置测试参数,使原来麻烦的“找条纹”,“选择测试参数”过程,在一分钟之内,自动完成。
3.双重防撞保护功能,除初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,能保护样品和设备的安全。




SuperViewW系列深圳3d光学轮廓仪检测仪器分辨率 μm,重复性 %,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。可以用于测试各类表面。比如透明的玻璃表面,加上增透膜,其反射率小于1%;也可以用于测试直至100%反射率的各类高反表面。

技术参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM: ×,( ×,1×可选)
干涉物镜:10×,( ×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率: nm
可测样品反射率: %-100%
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:
台阶高测量:准确度 %,重复性 % 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

SuperViewW系列深圳3d光学轮廓仪检测仪器集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。