半导体净化工程中公用动力系统简介，雅洁利为大家主要介绍六大系统。

  

  半导体净化工程中公用动力系统的主要相关参数如下：

  


  （1）热水系统（HotWater）

  

  主要用于各类空调机的供热，使用外购蒸汽来加热。热水温度：送水温度65℃，回水温度40℃；加热介质：蒸汽—消耗蒸汽量。


  


  （2）工艺设备冷却水系统（PCW）

  

  主要用于生产设备发热的冷却，应用冷冻水进行降温。系统流量：1600m3/h；系统温度：送水温度23℃，回水温度26℃；冷却介质：冷冻水——消耗冷冻机电量。

  


  （3）干燥压缩空气系统（CDA）

  

  主要用作精密的半导体工艺设备中气动元件的驱动能源，CDA机组使用冷冻水降温。供气压力： ；冷却水温度：送水温度24℃，回水温度30℃；冷却介质：冷冻水（冷冻水降温冷却水）——消耗冷冻机电量。

  


  （4）冷冻水系统（ChillerWater）

  

  由5台 ，3台 的特灵三级离心式制冷压缩机组提供整个制冷需求。冷冻水温度：送水温度6℃，回水温度11℃——消耗冷冻机电量；冷却水温度：送水温度32℃、回水温度38℃——排放热量。

  


  （5）新风系统（OAC）

  

  通过冷、热盘管及多级过滤器等控制整个洁净室环境的温湿度和空气洁净度。

  

  新风量：600000m3/h；新风平均温度（冬季）：5℃；送风温度：23℃；加热介质：热水——消耗蒸汽量；去湿介质：冷冻水——消耗冷冻机电量。

  


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