URE-2000/35光刻机 URE-2000/35光刻机价格 URE-2000/35光刻机厂家 广恒生物供
URE-2000/35光刻机
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和***曝光间隙，采用350W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便。
产品介绍:
产品介绍:1．技术参数 曝光面积：4英寸曝光波长：365nm分辨力： （胶厚2 mm的正胶）对准精度：±1mm掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm掩模尺寸： 英寸、3英寸、4英寸、5英寸样片尺寸：直径f15mm-- f100mm 厚度 --6mm(可扩展为15mm)曝光方式：定时（***方式）和定剂量照明不均匀性： 5%（100mm 范围）双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学相当大倍数400倍，光学+电子放大800倍物镜三对：4倍、10倍、20倍目镜三对：10倍、16倍、20倍掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度汞灯功率：200W（直流）曝光能量密度：6mW/cm 2．外形尺寸：650mm（长）600mm(宽) 900mm（高）3．配置 （1）曝光头 200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)XYZ汞灯调节台光学系统冷却风扇 （2）对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构,手动样片调焦机构，手动承片台3个（50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm ）掩模夹4个（ 英寸、3英寸、4英寸、5英寸）掩模抽拉式上下机构（3）对准显微镜 光源（配备品2只）、电源双目双视场对准显微镜主体目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）CCD（台湾）21寸液晶显示器 （4）电控系统 汞灯触发电源(200W直流汞灯)单片机控制系统控制机箱 （5）气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表 （6）其他附件真空泵一台管道（7）技术资料 使用维修说明书显微镜使用说明书

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