产品介绍
半自动晶圆减薄后撕膜机STK-520 衡鹏瑞和
半自动晶圆减薄后撕膜机是桌上型/适用于 4”&5”&6”&8”晶圆/操作简便。
半自动晶圆减薄后撕膜机STK-520规格参数:
晶圆尺寸:4”&5”&6”&8”晶圆;
厚度:150 ~750 微米;
撕胶膜种类:撕膜胶带;
宽度:38~100 毫米;
长度:100 米;
撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可调节;
撕膜温度:室温到 100 ℃范围可调,控温精度+/-3℃;
装卸方式:晶圆手动放置与取出;
控制单元:基于 PLC 控制,并配有 ”触摸屏;
驱动单元:伺服马达驱动;
安全保护:配置紧急停机按钮;
电源电压:单相交流电 220V,6A;
机器外壳:白色喷塑金属外壳;
机器指示:三色灯塔显示机台工作状态;
体积:560 毫米(宽)x1060 毫米(深)x870 毫米(含灯塔高);
净重:75 公斤;
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