半自动晶圆减薄贴膜机STK-650  衡鹏瑞和
半自动晶圆减薄贴膜机是专利设计的柔性滚轮贴膜/适用于4”- 8”晶圆。




半自动晶圆减薄贴膜机STK-650特点： 
4”- 8”晶圆适用；
自动胶膜进给及贴膜；
手动晶圆上下料；
自动切割胶膜，省力；
蓝膜、UV 胶膜可选；
PLC+触摸屏；
配置光帘保护功能，和紧急停机按钮；
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控；




 
半自动晶圆减薄贴膜机STK-650规格：
晶圆直径：4”- 8”晶圆；
晶圆厚度：100~750 微米；
单平边,双平边,V 型缺口；
膜种类：蓝膜或者 UV 膜；
贴膜方法：滚轮贴膜；
晶圆台盘：接触式晶圆台盘；
防静电控制：去离子风扇；
体积：950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ； 
净重：300 公斤；
 




半自动晶圆减薄贴膜机性能： 
晶圆收益：≥ %； 
贴膜品质：没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）；
Cycle Time： ≤ 45 秒（不包含上料/下料时间）；
MTBF：>168 小时；
MTTR：<1 小时；
停机时间： <3%； 
更换产品时间：≤ 10 分钟






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