产品介绍
半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050 衡鹏供应
半自动晶圆减薄贴膜机是柔性滚轮贴膜/适用于8”-12”晶圆。
半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050特点:
8”- 12”晶圆适用;
自动胶膜进给及贴膜;
手动晶圆上下料;
自动切割胶膜,省力;
蓝膜、UV 胶膜可选;
PLC+触摸屏;
半自动晶圆减薄贴膜机STK-6050规格:
晶圆直径:8”- 12”晶圆;
晶圆厚度:100~750 微米;
膜种类:蓝膜或者 UV 膜;
贴膜方法:滚轮贴膜;
晶圆台盘:接触式晶圆台盘;
晶圆放置精度:X-Y: +/- 毫米; Θ : +/- °;
装卸方式:手动晶圆放置与取出;晶圆在位置检测;
防静电控制:去离子风扇;
切割系统:自动刀;
控制单元:基于 PLC 控制, ”触摸屏;
电源电压:单相交流电 220V,10A;
压缩空气:60 PSI 清洁干燥压缩空气,流量每分钟 立方英尺;
安全:配置安全光帘和紧急停机开关;
体积:950 毫米(宽)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高) ;
净重:300 公斤;
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