带翻转机构的4轴晶圆搬送机械手




带翻转机构的4轴晶圆搬送机械手特点： 
使用了JEL制造的伯努利原理机械手，可吸附减薄晶圆
具有较高的刚性，手臂的第三关节可以承受3kg的负载（包括手臂和搬运物）
采用了步进电机驱动，能够有效地降低耗电量有利于节能
双机械手结构，能够缩短晶圆的交换时间
可以根据客户设备的布局，选择法兰固定方式或者底座固定方式




带翻转机构的4轴晶圆搬送机械手基本参数：
使用环境                        洁净间内的大气环境
手臂                              双臂
到达距离                        315mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴MAX行程             200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm
可搬运质量                    3kg (手臂第3关节处基准)




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