MITO DENKO水户电工MBE-260_MBE装置




MBE装置MBE-260概要：
水户电工MBE设备是超高真空装置，可以用从外部引入的激光在真空中激发，并将材料沉积在衬底上。






MBE装置MBE-260规格参数：  
Configure                                                                                                    Spec


Processing room 
and vacuum exhaust system                   Chamber Sharpφ260mm               Spherical SUS
                                                              Reaching vacuum                          Less ×10-7Pa (5×10-9Torr)
                                                              Ceramic bearing 
                                                              turbo pump                                   250L/s






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