内部过滤
    内部过滤一般应用在低真空度场合，这些设备需要润滑油来润滑活动部件，例如划片泵。真空油分直接安装在真空泵内部，分离排气中的油份。因此，可以去除全部的油雾和油烟。从气体中分离出的油份回到真空泵的油润滑循环系统得到再利用，以节约成本。
出口过滤
    排气过滤器用于没有内部油分离器的有油润滑真空泵，也应用在内部有油分的真空泵，采用活性炭材料，去除排气中异味，保护工作环境。