东莞市天测光学设备有限公司苏州分公司
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VIEW Precis 200耐用及可靠新款影像测量仪
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产品介绍
新款Precis 包含了很多可配置选项,使设备更加通用,耐用以及可靠。
 
扩展了Z轴范围 – , 5mm or 100mm
 
透射照明
 
完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准
 
符合人体工程学的操作员控制台 ,带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合
全自动显微镜,所有设置计算机控制
很好分辨率像素摄像头
VIEW Metrology Software (VMS™) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。
MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器.
标准                        可选
X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               ‘/载重:                 12 kg
XY精度:                    E1=( +2L/1000)um
Z 精度:                     E1=( )um (with use of a 100X lens)
分辨率:                     微米
视场测量精度和重复性: μm (100x)
直流伺服马达驱动