01
特征


适用于大尺寸晶片和平板显示器


大容量可用
结合起来。
大于150 kL/min
也可以随需应变。
02
特征


短周期时间


大容量围绕ATM。对于大型L/L型腔，压力可以实现很好的高速泵送。
SDL系列
溶剂排空泵也排好了队。