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无油真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理，基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。
气体传输泵，它是一种能使气体不断吸入和排出泵外以达到抽气口的的真空泵。这种气体传输泵含有容积泵和动量传输泵两大类.
   
1容积无油真空泵
 
容积无油真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气、压缩和排气的装置。气体排出前被压缩，这种泵分为往复式和旋转式两种。
 
(1)往复式无油真空泵，利用泵腔内活塞的往复运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称它为活塞式真空泵。
 
(2)旋转式无油真空泵，利用泵腔内活塞的旋转运动，将气体吸入、压缩并排出.属于此类的泵种很多.
 
1)油封式机械泵，它是利用油类密封各种运动部件的间隙，减少有害空间的一种旋转式容积真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故称气镇式真空泵，按其结构特点分为:旋片泵，定片泵，滑阀泵，余摆线泵以及多室旋片泵等。
 
2)干式无油真空泵.目前所谓的干式真空，一般通用的说法是:能在大气压到10-2Pa的压力范围内工作的真空泵;在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能使用任何油类和密封液体.排气口与大气相通，能够连续向大气中排气的泵，即称为干式真空泵。按其工作原理分，也有干式容积真空泵，如多级罗茨泵、多级活塞泵、爪型泵、螺杆泵、涡旋泵等;此外还有动最传输式干式泵二如涡轮干式泵，离心干式泵等.这种泵的抽气不再有油的污染了，是近期开发研制较多的泵种。
 
3)液环真空泵，带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当转子旋转时，把液体(水或油类)抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子上的叶片形成了容积周期性变化的几个小容积实现吸气、压缩和排气.由于液环起到压缩气体的作用故又称它为液体活塞真空泵。
 
4) 罗茨真空泵，泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶或多叶形的转子，转子间、转子与泵壳内壁之间均保持有一定的间隙。它属于无内压缩式的真空泵.按用途又分为湿式罗茨泵，直排大气式罗茨泵和机械增压泵等类型。
 
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