真空泵进行拆洗。其步骤为： (1)切断电源，将上海真空泵从真空系统上卸下， (2)用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境; (3)卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带); (4)先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等; (5)将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等; (6)取下视镜、排气阀、排气盖等;