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三氟甲烷
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产品介绍


三氟甲烷中文别名:氟仿;氟里昂-23;英文名称trifluoromethane分子式:CHF3分子量: ;[1] .1用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂。及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。2、电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一,尤其是对二氧化硅膜的刻蚀,具有刻蚀速度快,选择性好的优点。此外,氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。3、用作低温致冷剂及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料。4、用作低温(-100℃)制冷剂,电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有机化合物的原料。 [1]