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六氟化硫(sulfur hexafluoride)是一种无色、无臭、、不燃的稳定气体,化学式SF₆它的分子量为 ,在20℃和 MPa时密度为 ,约为空气密度的5倍。六氟化硫在常温常压下为气态,其临界温度为 ℃,三相点温度为- ℃,常压下升华点温度为- ℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不超过180℃时,它与电气结构材料的相容性和氮气相似。化学性质稳定。微溶于水、醇及,可溶于氢氧化钾。不与氢氧化钠、液氨及起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对石英不起作用。250℃时与反应,-64℃时在液氨中反应。与混合加热则分解。200℃时,在特定的金属如钢及硅钢存在下,能促使其缓慢分解。