随着电子行业的快速发展，生产电子元器件过程中所产生的废气污染也随之而来。在电子行业中造成环境污染有机废气主要是产生于芯片或线路板生产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程中。

电子厂废气来源与成分

电子厂废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱类有：氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物等。这些污染气体会造成人群慢性或急性中毒。所以须处理达标才能排放。

电子行业废气大多数都是风量大，浓度低。

电子厂废气成分为酸碱废气和有机废气两大类，因此电子废气处理方法可先通过喷淋塔设备解决酸碱废气，后期再通过活性炭吸附设备或集中式静电吸附设备处理有机废气部分，如果有异味，再结合UV光解除臭设备，把废气治理达标后排放。

1喷淋塔设备

洗涤器里的喷淋装置将循环液逆着气流喷酒，使废气中的污染物与填料表面的水接触，因而被水吸收而转入液相，从而实现质量传递过程。吸收了废气组分的洗涤液，流入活性污泥池中，通入空气充氧后再生，被吸收的气态污染物通过微生物氧化作用，被活性污泥悬浮液从液相中除去。

2）活性炭吸附设备

通过大粒径颗粒物的重力沉降，与滤材的碰撞拦截以及滤材的表面接触阻留等作用去除废气中较大粒径颗粒物。

3）集中式静电吸附设备

其利用静电力实现颗粒物与气流的分离，利用静电力实现颗粒物与气流的分离，主要有“荷电-沉降”两步组成。

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