低温空分制氧设备工作原理
利用低温精馏工艺分离空气可制取氧气、氮气和氩气。
空气压缩、冷却和净化
   原料空气经（空压机配置有吸入空气过滤器和中间/后冷却器）多级离心式透平压缩机压缩，压缩产生的热量被中间冷却器和后冷却器带走，而后在空气冷却塔中被污氮和冷冻水进一步冷却到所需的温度。采用除雾器来除去空气中的水分，此外还设置了水分离器。
  预冷后的空气通过双层床吸附器，由吸附器内充填的活性铝和分子筛来*空气中的水分、*和碳氢化合物。空气穿过出床层后，进入滤尘器中去除空气中可能含有的分子筛粉末。在滤尘器之后抽出一小股空气，作为空分设备的仪表空气。
  两台吸附器一台使用，另一台由来自冷箱的污氮进行再生。再生气体（污氮）在再生加热循环中由电加热器加热。
   空气离开净化系统治后，干净的空气被分成两股。一股（5－6 kg/cm2 g的中压空气）进入冷箱内的主换热器，另一股经多级离心空气增压机压缩至高压后送入冷箱。中压空气和高压空气经冷箱内的主换热器与返流液氧换热而被冷却，制取产品氧气，产品氮气和污氮。
空气精馏
 　空气精馏在空分设备冷箱中进行。冷箱中设有主换热器，氮加热器，下塔，上塔，主冷凝器，氩冷凝器，氩塔，透平膨胀机，低温泵等。
   接近的中压空气（5－6 kg/cm2 g）进入下塔进行初次分离。
 一部分高压空气从主换热器的某一位置抽出，送入透平膨胀机中膨胀以获得所需的冷量。膨胀后的空气送入中压塔（下塔的底部）。另一部分高压空气在与膨胀机联轴的增压机中进一步压缩，提高了压力，在主换热器中使液氧蒸发，经膨胀阀膨胀后送入中压塔（下塔的底部）。经冷箱内的低温精馏，氧和氮从空气中分离出来。为了制取氩气，将上塔中部的氩馏分送入精氩塔中，去除其中的氮成分。把塔底部得到的纯液氩送入储罐。