产品介绍
参数
CIS-400
外形尺寸
424*265*260MM
输入电压
220V/50Hz
溅射电压
600V
工作原理
磁控溅射
功率
4507
靶材尺寸
057* (AU)
可选靶材
金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材
真空泵
直连式两级旋片式真空泵1心/S
真空室
0128*130MM高强度玻璃
极限真空
1PA(电阻式真空规)
抽气节拍
≤90S
样品杯
00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个
样品室进气
自动:高精度微量进气阀
进气接头
O4快拧接头(外径4M,内径 气管)
江作电流
5-45MA任意可调
颗粒大小
6-10NM
保护功能
过流保护、真空保护