广州英鹏光电科技有限公司
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CIS-400小型离子溅射仪喷金仪
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产品介绍
参数

CIS-400


外形尺寸

424*265*260MM


输入电压

220V/50Hz


溅射电压

600V


工作原理

磁控溅射


功率

4507


靶材尺寸

057* (AU)


可选靶材

金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属靶材


真空泵

直连式两级旋片式真空泵1心/S


真空室

0128*130MM高强度玻璃


极限真空

1PA(电阻式真空规)


抽气节拍

≤90S


样品杯

00样品杯1个/025样品杯4个/15样品杯6个


样品室进气

自动:高精度微量进气阀


进气接头

O4快拧接头(外径4M,内径 气管)


江作电流

5-45MA任意可调


颗粒大小

6-10NM


保护功能

过流保护、真空保护