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VTC-16-3HD小型离子溅射仪喷金仪
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产品介绍
产品名称

VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪



产品型号

VTC-16-3HD



安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用.




1、水:不需要




2、电:AC220V50Hz,有良好接地




3、气:设备腔室内需充注气气(纯度 %以上),需自备氛气气瓶(带压减阀)







4.工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上



5、通风装置:不需要


主要参数

1、输入功率:110V/220V通用2000W(含真空泵)



2、输出功率:1600VDC50mA



3、石英置:0160mm×120mm



4、样品台:050mm(可选购加热型样品台,温度可到500℃:溅射时间不可超过5min)



5、真空泵:120L/M旋片式真空泵






7、靶材:尺寸直径047mm,厚度 -3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni





产品规格

尺寸:360mm×350mm×3600mm;



重量:50kg


可选配件

1、KF25真空接口、卡箍



2、不锈钢波纹管(600mm)



3、旋片式真空泵(120L/M)



4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材



5、加热型样品台