产品介绍
产品名称
VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪
产品型号
VTC-16-3HD
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用.
1、水:不需要
2、电:AC220V50Hz,有良好接地
3、气:设备腔室内需充注气气(纯度 %以上),需自备氛气气瓶(带压减阀)
4.工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50ka以上
5、通风装置:不需要
主要参数
1、输入功率:110V/220V通用2000W(含真空泵)
2、输出功率:1600VDC50mA
3、石英置:0160mm×120mm
4、样品台:050mm(可选购加热型样品台,温度可到500℃:溅射时间不可超过5min)
5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
7、靶材:尺寸直径047mm,厚度 -3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni
产品规格
尺寸:360mm×350mm×3600mm;
重量:50kg
可选配件
1、KF25真空接口、卡箍
2、不锈钢波纹管(600mm)
3、旋片式真空泵(120L/M)
4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材
5、加热型样品台