产品介绍
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅谢仪
GSL-1100X-SPC-16
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、电:AC220V50Hz,有良好接地
3、气:设备腔室内需充注氢气(纯度 %以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
5、通风装置:不需要
1、电源:220V
2、总功率:<2000W(包括镇空泵)
3、真空室:0160mm×120mm
4、样品台:O50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜
5、max均匀镀膜:045mm
尺寸:400mmx300mm×400mm
重量:30KG
1、金靶材1个
2、进气针阀1个
3、保险丝2个
金、铟、银、铂等各种靶材