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GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅谢仪喷金仪
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产品介绍
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅谢仪


GSL-1100X-SPC-16


本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。


1、水:不需要


2、电:AC220V50Hz,有良好接地


3、气:设备腔室内需充注氢气(纯度 %以上),需自备氩气气瓶(带减压阀)


4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上


5、通风装置:不需要


1、电源:220V


2、总功率:<2000W(包括镇空泵)


3、真空室:0160mm×120mm


4、样品台:O50mm,且高度可调,可同时进行8个SEM样品的镀膜


5、max均匀镀膜:045mm


尺寸:400mmx300mm×400mm


重量:30KG


1、金靶材1个


2、进气针阀1个


3、保险丝2个


金、铟、银、铂等各种靶材