产品介绍
参数:
1.主机规格:340mm×390mm×300mm(W×D×H)
2.靶(上部电极):金:50mm× (D×H)
3.靶材:Au(标配)
4.样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)
5.靶材尺寸:Ф50mm
6.真空指示表: 真空度:≤ 4X10-2 mbar
7.离子电流表: 电流:50mA
8.定时器:时间:1-360s
9.微型真空气阀:可连接φ3mm软管
10.可通入气体: 多种
11.电压: -2800 DCV
12.机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)