产品介绍
参数:
主机规格:305mm×365mm×325mm(W×D×H)
靶(上部电极):金:50mm× (D×H)
靶材:Au(标配),也可根据实际情况配备银靶、铂靶等
样品室:硼硅酸盐玻璃160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸:Ф50mm
真空指示表:真空度:≤ 4X10-2 mbar
离子电流表:电流:50mA
定时器:时间:3600s
微型真空气阀:可连接φ3mm软管
可通入气体:多种
电压:-1600 DCV
输入电压:220V(可做110V),50HZ
机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)