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由于高纯气体具有高温、低毒、没有毒等特点，其化学性能和生产工艺都比较优良，而且对于一些高浓度的气体也可以作为运载气使用。由于高纯气体的纯度是一个重要的参考指标，所以对高纯气体的应用有着非常广泛而深刻的影响。高纯气体是由于氮化物在半导体工业中所占比重很大。由于其在半导体工业中所占比例较小，因此它对环境污染相对较轻。高纯气体对于人类健康和生态环境的危害较小。高纯气体中的氮化物、氧化物和水蒸汽在半导体工业中可以进行分离，从而提高了半导体产品的性能、增加了附加值。
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