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高纯气体是指经过精密处理和严格纯化的气体，在制备过程中杂质含量，并具有稳定性。这类气体被应用于众多领域，发挥着重要作用。高纯气体在半导体制造中扮演关键角色。例如，高纯度的氮气被用于晶圆清洗和等离子体刻蚀，以确保半导体器件的可靠性和性能。高纯气体在电子器件制造领域具有特殊意义。例如，高纯度的氩气和氧气被用于晶圆清洗和沉积，以去除杂质和提高器件性能。高纯气体在食品加工和保鲜中起着重要作用。二氧化碳气体被应用于饮料充装和碳酸化过程，氮气则常用于食品包装和延长货架寿命。
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