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高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。高纯气体在真空技术中具有重要意义。例如，高纯度的氩气和氦气被用于制造真空设备和保持稳定的气氛，以进行各种实验和工艺操作。高纯气体在化学合成和分析中发挥重要作用。一些特殊的高纯气体如硼酸氢酯、三乙胺等被用作催化剂和反应中的原料。