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高纯气体是指经过精密处理和严格纯化的气体，在制备过程中杂质含量，并具有稳定性。这类气体被应用于众多领域，发挥着重要作用。高纯气体在半导体制造中扮演关键角色。例如，高纯度的氮气被用于晶圆清洗和等离子体刻蚀，以确保半导体器件的可靠性和性能。高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦而言，通常指纯度等于或高于%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。
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