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高纯气体在真空技术中具有重要意义。例如，高纯度的氩气和氦气被用于制造真空设备和保持稳定的气氛，以进行各种实验和工艺操作。高纯气体在化学合成和分析中发挥重要作用。一些特殊的高纯气体如硼酸氢酯、三乙胺等被用作催化剂和反应中的原料。高纯气体在金属加工和焊接工艺中起到重要作用。例如，高纯度的氩气被用作保护气体，在焊接过程中抑制金属氧化和减少杂质引入。高纯气体在科学仪器和分析测试中具有重要价值。例如，高纯度的氦气和氧气在质谱仪、光谱仪等仪器中被广泛应用于实验操作和样品检测。
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