苏州多线切割断线分析 博泰供苏州数控线切割机床 南京线切割的价格 上海苏州线切割联系方式：13338661786 司经理微信：13338661786公司地址：苏州市相城区望亭镇迎湖村新浪中路8号网站： 摘要：在多线切割工艺中，镀铜金属线对硅单晶切割片的质量有着重要影响，成为多线切割工艺需要控制的重要辅料。断线问题一直是困扰多线切割工艺人员的主要问题之一，一直得不到有效的解决，从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析，并给出相应的解决措施。 多线切割工艺的基本原理是通过镀铜金属线携带砂浆按 的速度对硅单晶进行切割。在切割过程中，断线问题是困扰多线切割工艺技术人员的主要问题之一，该问题的解决对硅片的质量和成品率有着非常重要的意义[5-7]。随着硅单晶尺寸逐步增大以及硅片向越来越薄的方向发展，断线问题对设备有效运行时间以及成本控制等带来的影响日趋***，因此断线问题成为多线切割工艺丞待解决的主要技术问题之一。在多线切割工艺领域，鲜有关于断线问题的文献报道。 本文从材料、设备、工艺以及人员等多个视角对断线问题进行了分析，以期给出相应的解决措施，为多线切割工艺人员解决断线问题提供一些解决方案。1多线切割机加工原理 多线切割方式因具有厚度一致性好、几何参数一致性好、适于批量生产等优势，已经成为单晶切割的主要方式。 多线切割机的原理如图1所示，通过伺服电机控制的放线轮拉出的镀铜拉丝绕过几个起转向作用的滑轮，然后经过控制张力的张力控制器，在切割室内连续缠绕在2～4个主导轮上，形成一个在水平面上弥补的平行线网。而在线网的上方，单晶的两侧布置有砂浆喷灌提供稳定的砂浆流量。 钢丝绕过线网后再通过滑轮和张力控制器回到收线轮上，在切割时高速运动的钢线携带附着在钢丝上的SiC磨料对硅棒进行研磨从而达到切割的效果。在切割过程中钢线通过滑轮的引导，在导轮上形成一张线网，而待加工硅棒通过工作台的下降或上升实现工作的供给，把硅棒按 晶格方向切割成片。2断线问题的原因分析及解决措施 镀铜金属线质量缺点导致的断线问题及解决措施 在多线切割工艺中，镀铜金属线是在 的张力条件下以 的速度与硅单晶之间相互作用，从而实现对硅单晶的切割。在切割过程中，镀铜金属线需要承受 的拉力，从而镀铜金属线