MicroLine-300是一款桌上型半自动CD测量系统。

主要技术参数：

◆    测量范围(XYZ)：标准：200×200×25mm；可选：300x300x25
◆    视场内测量精度：10nm(100X 镜头)；Z轴ju jiao范围：25 mm
◆    视场内测量范围： ~400um；
◆    视场内测量重复性(100x 物镜)：  晶圆上< (1δ)； 
                                                   掩模板上 (1δ)；   
◆     承重：2kg
◆    标配镜头10x，可选镜头：5X, 20X, 50X, 100X
 
 
MicroLineTM 300是一款高性能测量晶圆、光罩、MEMS和其他微加工设备等关键尺寸的自动化测量系统。该系统配备了高质量光学显微镜和精密移动平台，可对200mm的晶圆上 µm到400µm的特征尺寸进行全自动的精密视场测量。
 
n  200 x200mm精密X-Y平台
n  基于视觉的自动ju jiao获得 影像质量
n  自动照明可编程光强
n  用于测量透明层、不规则边缘的线、厚膜等的强劲性能
n  完全可编程的序列，包括自动ju jiao和关键尺寸测量
n  电动的6目物镜转换器，软件控制
n  可选的透射照明
技术规格：
- 测量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)
- 平台运行: 交叉滚轴手动同轴定位和快速释放
- 视场内的测量精度: µm (用100x物镜)
- 特征尺寸: 视场内 µm - 400µm
- FOV测量重复性: < µm on wafers (用100x物镜)
< µm on photomasks (用100x物镜)
- 照明: 石英卤素灯, 反射光
      自动照明
- 低噪音CCD VGA格式摄像头
- 图像处理60帧每秒
MicroLine 300的典型应用包括：
l  晶圆
l  光罩
l  MEMS
l  微型组件
测量类型:
n  关键尺寸:
线宽  Linewidth
节距  Pitch
间隙  Spacing