在线式真空等离子设备 特点：1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达90拼板/小时；3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。 用 途：IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗 在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。